SEM-kjemiske analyser
Sammendrag:
- Lokale kjemiske punktanalyser - røntgenmikroanalyse
- Linjeanalyse - linjeprofiler
- Element - kart (X-ray mapping)
- Kjemiske analyser av faser, mineraler, keramer, poymerer etc.
- Lokale kjemiske analyser av korrosjonsavsetninger, partikler, pulver etc
Detaljer:
Elektronene i strålen som treffer prøven i SEM har høg energi, typisk 20keV. Når disse elektronene vekselvirker med atomene i prøven, genereres røntgenstråler med energier som er spesifikke for de forskjellige grunnstoffene. Deteksjon av disse røntgenstrålene vha EDS (Energi Dispersivt Spektrometer) benyttes til bestemmelse av prøvens kjemiske sammensetning lokalt (≈ 1μm3) der hvor strålen treffer prøven, røntgenmikrosanalyse. Kombinasjonen av SEM og EDS har mange anvendelsesområder: rask identifikasjon av legeringer, faseidentifikasjon, beleggsammensetningsanalyse, overflateforurensningsanalyse, korrosjonsvurderinger, asbestanalyser etc. Typiske industrier som bruker SEM / EDS: materialer, automotive, luftfart, mineraler, glass/keramikk/ildfaste materialer, medisinsk utstyr, halvleder, elektronikk.